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跟著科技的前進和產品技能的不斷提升以及我國對外開放的深化，大批的外資企業在我國建立其制作基地，特別是近年來半導體職業的大舉進入，其全新的出產工藝及出產過程中對環境溫、濕度、潔凈度的較高要求，需求我們供給一個比較有效且比較低能耗的空調體系，特別需求有低濕度的空調環境確保。

現在，空氣除濕主要有四種辦法，通風除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調除濕體系中，冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手法。冷卻除濕在環境對濕度要求不是很高(RH≯60～65%)的條件下，作用仍是比較好，功用安穩且能耗也比較低，現在應用比較廣泛。但在出產環境對濕度要求較高(RH=45±5%)的當地，選用冷卻除濕顯著是不經濟的。選用轉輪除濕機，將不受空氣露點影響，且除濕量大，特別適用于低濕條件下，但如果全部除濕僅選用固態吸附原理的轉輪除濕機進行，因為其再生耗能量也比較大，此種計劃也不是較經濟的。因為轉輪除濕和冷卻除濕各有所長，將其優化組合，各取所長，互補所短，會更好的發揮其效能。

2.濕度在半導體職業中的要求半導體的出產工廠要在全年四季的氣候條件下，出產車間內部要求維持安穩的環境，特別是關于出產環境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個空調參數都提出了嚴厲的要求。有別于其他的恒溫恒濕環境體系的要求，因為電子產品對靜電的敏感性和高濕度環境對其品質的影響，其對濕度的精度提出了嚴厲要求，關于空調體系的裝備，則要求體系一起具有夏日除濕的功用和冬天加濕的功用。一般的，半導體出產職業的溫濕度條件為：T=22±2°C，RH=45±5%;而關于這個溫濕度要求，傳統上經常選用冷凍除濕+后加熱(再熱)辦法進行處理，并取得了必定成果。但這種辦法卻存在著一個致命問題，冷熱的抵消和能耗的巨大糟蹋，特別是因為半導體職業的大新風，大排風體系、出產環境為大空間潔凈環境以及現在許多廠主要集中散布在華南和華東地區的特殊狀況，使得這個問題十分杰出。因而，在較新的許多半導體廠房的空調體系開始使用新風經過新風機組(冷卻除濕)和轉輪除濕機聯合處理濕度、溫度然后經往后空調機組處理的組合辦法，到達室內送風溫、濕度要求，并取得了顯著收益。

3.工程實例一、設計條件及要求：a、室內要求：T=22±2℃;RH=50±5%;TL=11.5℃;d=8g/kg;b、潔凈等級：10K(10000級);c、體積：S=2000m2;H=2.8m;d、工作人員：30名，車間無工藝濕負荷;e、新風量：9500m3/h;f、送風量：120000m3/h，正壓5~10PA;g、室外環境條件：T=35℃;RH=70%;d=25g/kg;

二、空調體系設計計劃及優缺點：a、計劃A：新風機組(MAHU)+組合式空氣處理機組(AHU)，其空氣處理過程如下：新風過濾經表冷處理后與房間回風混合，再經表冷器處理到機器露點(TL=12℃)后再加熱至送風溫度(T=18.5℃)后，統一送風到車間。剖析如下：因為車間內部的露點溫度為11.5℃，并且設計條件中車間內無其他工藝濕負荷。根據這種條件，我們假定車間內部沒有任何產濕量，則需求送風露點和車間相同為11.5℃，這時關于新風和回風到達11.5℃露點所需求的冷量為：新風冷負荷：9500*1.2*(101.2-32.2)/3600=162Kw;(新風預冷至18℃，95%)回風冷負荷：120000*1.2*(44-33)/3600=440Kw總計：162+440=602Kw;而在處理空氣露點溫度到達車間露點溫度后，需求進行加熱補償，以確保送風溫度的要求，這時所需求的再熱量為：再熱負荷：120000*1.2*(39.8-33)/3600=272Kw總能耗為：冷：602Kw.熱：272Kw.從上述剖析和核算可得出，能耗抵消為：272Kw但實際上，車間內部因為人員的工作，保護結構的表里的水蒸汽分壓力差以及車間門的敞開等要素，車間內不可避免的存在濕負荷，這要求送風露點溫度應略低于車間內部露點溫度，這會導致更大的冷熱能耗抵消。

一般的，因為新風的焓值十分高，無法經過新風表冷器直接將新風冷卻到11℃露點溫度。所以經常選用新風和回風混合后，再表冷器處理的辦法進行操作。一起，這種空調體系不僅要求在夏日可以一起滿意制冷(控溫文除濕)和供熱(滿意濕度要求)功用;并要求在某些過渡季節甚至冬天相同需求敞開制冷機組，意圖僅僅是除濕(對新風進行降溫除濕)。然后再經往后加熱補償的辦法，重新操控室內的溫度要求，糟蹋了大量的能源更為嚴重的是，在某些狀況下，后加熱的裝備量往往偏低，特別是后加熱器選用電加熱時，這種狀況更為常見。這時的空氣因無法得到足夠高的送風溫度而導致車間內部的相對濕度偏高，這種狀況下，要求制冷機組需求將送風露點(溫度)進一步下降，而在送風露點下降時，溫度隨之下降然后導致車間內部的濕度無法得到嚴厲確保。關于制冷機組，需求將空氣處理到11℃露點溫度，因而要求冷水溫度一般為5～10℃。但在這種工況下，制冷機組的功率也往往會有所衰減，然后需求裝備較大容量的制冷設備，引起先出資的增加。

b.計劃B：新風機組(MAHU)+轉輪除濕機組(Dehumidifier)+組合式空氣處理機組(AHU)，其空氣處理過程如下：新風過濾，經過新風表冷器，一般處理到18℃露點，之后經過轉輪除濕機進行等焓除濕(空氣露點為4℃，d=5.2g/kg，T=42℃);除濕后的干熱空氣再和回風混合后(T=23.5℃,d=7.9g/kg)，經往后表冷器進行干工況降溫處理到送風溫度(18.5℃)，送風到車間。能耗為：新風表冷冷負荷：9500*1.2*(101.2-50)/3600=162Kw除濕機能耗：125Kw后空調冷負荷：120000*1.2*1.005*(23.5-18.5)/3600=201Kw總能耗為：冷：363Kw.熱：125Kw.c.計劃比較：傳統冷凍除濕+后加熱體系轉輪除濕機體系新風表冷能耗162Kw162Kw后表冷器能耗440Kw201Kw電加熱能耗272Kw125Kw總能耗(折算為電能)：383.8Kw193Kw由上述剖析和核算可得出，使用轉輪除濕機體系和傳統的冷凍除濕機+后加熱器辦法，能耗節約為45%左右。一起，因為轉輪除濕機可以將新風進一步除濕干燥，以抵消車間的其他室內濕負荷，尤其是在體系初期調試及房間發熱量不足(即出產開工不足)期間，這種體系運行愈加可*，安全性更好，完全可以滿意半導體潔凈車間全天候的出產要求。

4.轉輪與冷卻聯合式除濕空調體系的特性轉輪與冷卻聯合除濕空調體系，便是將具有冷熱交換的冷卻除濕循環體系與轉輪除濕相結合，使用制冷體系的吸熱除濕進行前期除濕，而使用轉輪除濕機進行深度除濕。冷卻除濕在必定的范圍內除濕作用好，且功用安穩，但當濕度要求較低時，冷卻除濕的能力顯著下降，此刻選用轉輪與冷卻聯合除濕體系，可以到達很好的作用。冷卻除濕作為前期除濕，杰出了冷卻除濕機高露點工況下能耗低的特點，使用轉輪除濕進行深度除濕，杰出了轉輪除濕機低溫低濕條件下，不受露點約束且除濕量大的優點。此體系常用的處理流程如下：1：冷卻除濕;2：轉輪除濕;3：等濕冷卻;5：再生加熱;6：絕熱再生5.結論在低濕環境條件下，選用轉輪與冷卻聯合式除濕空調體系具有僅冷卻除濕機不可比擬的優越性。